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美國嚇呆了!中國年底推出首款先進 28nm 的國產光刻機!

發表於 : 週四 8月 03, 2023 4:31 pm
emily
【28nm 🇨🇳】中國官媒報導,中國 SMEE 上海微電子裝備集團將於年底推出首款先進 28nm 的國產光刻機,官媒表示這標誌著中國自主研發道路上跨出一大步,突破美國主導的打壓和圍堵下的重大勝利!

這台 28nm 國產浸沒式光劇機型號為 SSA/800-10W,預計 2023 年底能正式交付,之前 SMEE 主要是提供 90nm 生產設備,這次提升至 28nm 絕對是突破性發展。

SMEE 副理事長何榮明曾表示,中國專家出國考察時,一些外國工程師說:「即使我們給你所有的圖紙,你也不一定能生產出光刻機」。

回國後,SMEE 團隊經過五年的研發,在關鍵的曝光工藝上取得了重大突破。

據了解,SMEE 成立於 2002 年,是中國領先的光刻機製造商之一,約佔國內市場 80% 的份額。路透社稱該公司是荷蘭世界領先光刻機製造商 ASML 的中國唯一潛在競爭對手。